V10FD-R直接热式型MFC MFM

V10FD-R直接热式MFC/MFM采用热式测量原理，直接

用两支快速反应的铠装传感器测量气体流量。该产品为模拟

和数字兼容型设计：可通过模拟型二次表或PLC进行设定和

显示瞬时流量；也可通过数字接口直接与计算机进行通讯。

具有通用于模拟型控制系统和数字型控制系统的特点。
该产品采用多气体多量程的设计便于用户现场配置流量计： V10FD-R直接热式流量计

通过拨码开关可以现场选择四种测量气体，每种气体有3种校

准量程，六个LED指示灯可以较直观的显示V10FD-L的各种

工作状态。如果需要对气体流量进行控制时,还可以加装电磁比

例调节阀和内置PID调节功能。

产品应用

真空镀膜太阳能半导体石油石化
煤炭冶金制气配气环保各种分析仪器

V10FD-R直接热式控制器

技术参数

技术指标:     V10FD-RC质量流量控制器V10FD-RM质量流量计
量程范围:     小量程:5SCCM～10SLM 中量程:10SLM～30SLM 大量程:30SLM～250SLM
测控范围:     控制器阀控范围50:1 流量计量程比100:1
准确度:     流量：±3%读数±0.2%满量程
              压力：0.5%F.S 温度：±1℃
              线性±0.5%F.S
重复精度:     ±0.2%F.S
响应时间:     100ms 10ms
数字量:     RS232/485，MODBUS协议
模拟量:     0～5V、4～20mA、1～5V
供    电:     24V/±15V可选
工作温度:     0～50℃
工作压力:     工作压差：0.03～0.5MPa 工作压降：<0.01Mpa
最大耐压:     3MPa
电气连接:     DB15孔
漏    率:     1×10-9SCCSHe
温度系数:     ±0.015%F.S/℃
底座材质:     铝合金或316L不锈钢
密封材料:     氟橡胶,氯丁橡胶，丁晴橡胶
接   头:    VCR1/4;swagelokφ6