薄膜测量光纤光谱仪 AvaSpec- 2048

薄膜测量系统是基于白光干涉的原理来确定光学薄膜的厚度。可以通过对白光干涉图样进行数学运算来计算出薄膜厚度。对于单层膜层来说，如果已知薄膜的n和k值就可以计算出它的物理厚度。

AvaSoft-Thinfilm薄膜测量软件内有一个包含大部分常用材料和膜层的n值和k值的数据库。

AvaSoft-Thinfilm膜厚测量系统可以测量的膜层厚度从10nm到50µm，分辨率可达1nm。

薄膜测量广泛应用于半导体晶圆工业，此时需要监控等离子刻蚀和沉积过程。还可以用于其它需要测量在金属和玻璃基底上镀制透明膜层的领域。

AvaSoft-Thinfilm应用软件能够在线实时监控膜层厚度，并且可以与其他AvaSoft应用软件如输出到Excel软件和过程控制软件一起使用。
Thinfilm-standard是2个标定过的已知不同厚度的镀SiO2膜层和参考膜层的硅片，可以用来验证仪器的测量结果的准确性。

薄膜测量常用配置:

光谱仪	AvaSpec- 2048 光谱仪
光谱仪	UA光栅 (200-1100nm),DCL-UV/VIS, 100µm狭缝 , DUV镀膜 , OSC-UA
测量膜厚范围	10 nm- 50 µm, 1nm 分辨率
软件	AvaSoft-Thinfilm 薄膜测量应用软件
光源	AvaLight-DHc 紧凑型氘-卤钨灯
光纤探头	FCR-7UV200-2-ME 反射型探头， UV/VIS谱段, 2米长, SMA接头
附件	THINFILM-STAGE薄膜测量支架，用于固定反射探头
附件	Thinfilm-standard，2个标定过的已知不同厚度的镀SiO2膜层和参考膜层的硅片

典型应用领域：

· Semiconductor fabrication (PR, Oxide, Nitride..)半导体制造

· Liquid crystal display (ITO, PR, Cell gap…..)液晶显示器

· Forensics, Biological films and materials 医学、生物薄膜或材料

· Inks, Mineralogy, Pigments, Toners 印刷油墨，矿物学，颜料，碳粉

· Pharmaceuticals, Medial Devices 制药

· Optical coatings, TiO₂, SiO₂, Ta₂O₅….. 光学薄膜

· Semiconductor compounds 半导体化合物

· Functional films in MEMS/MOEMS 功能薄膜材料

· Amorphous, nano and crystalline Si 非晶硅

AvaSoft-Thinfilm应用系统可以搭配多种应用系统附件，例如光纤多路复用器、显微镜、过真空装置等附件，实现多点位同时测量、微区测量、过程监控等复杂领域的应用。

例如：AvaSoft-Thinfilm应用系统能够实时监控膜层厚度，并且可以与其他AvaSoft应用软件如XLS输出到Excel软件和过程监控软件一起使用。

如果您的应用比较特殊，欢迎您与我们的工程师联系，我们丰富的配置经验会帮助您量身定制最合适的光谱测量解决方案！