支持微区测量及多点位测量
典型应用领域:
· Semiconductor fabrication (PR, Oxide, Nitride..)半导体制造
· Liquid crystal display (ITO, PR, Cell gap…..)液晶显示器
· Forensics, Biological films and materials 医学、生物薄膜或材料
· Inks, Mineralogy, Pigments, Toners 印刷油墨,矿物学,颜料,碳粉
· Pharmaceuticals, Medial Devices 制药
· Optical coatings, TiO2, SiO2, Ta2O5….. 光学薄膜
· Semiconductor compounds 半导体化合物
· Functional films in MEMS/MOEMS 功能薄膜材料
· Amorphous, nano and crystalline Si 非晶硅
AvaSoft-Thinfilm应用系统可以搭配多种应用系统附件,例如光纤多路复用器、显微镜、过真空装置等附件,实现多点位同时测量、微区测量、过程监控等复杂领域的应用。
例如:AvaSoft-Thinfilm应用系统能够实时监控膜层厚度,并且可以与其他AvaSoft应用软件如XLS输出到Excel软件和过程监控软件一起使用。