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类型:UC级
特点:UC级;小流量型
最大流量:20L/min(正常)
一次压力:1MPa
二次压力:0.01~0.3Mpa;0.02~0.7MPa
气体接触部分粗糙度:UC: 0.7μm Rmax
气密性:1.01×10-11Pa·m3/s以下
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