筛选
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阴极预处理台 |
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用于阴极预处理 极限真空度3 * 10-5Pa 全程控工艺过程 多工位可多达14个 |
高频除气台 | |
用于阴极除气 石英钟罩式除气工位口,利于观察测温,方便装卸工件 极限真空度3*10-4Pa 全程控工艺过程 2~3个工位 |
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阴极发射特性研究系统 | |
用于研究阴极表面发射特性 极限真空度:5*10-8Pa 可移动阴极,精确的传动和定位系统 专 |