Model（型号）

V1500X

Plasma method （等离子模式）

RIE • DP mode

Electrode（电极构造）

Parallel flat stage plate

Electrode material（电极材料）

SUS-304

Chamber temperature（工作室温度）

Digital display（数码温度显示）

RF generator（高频功率）

100~1500W

Oscillation（振荡频率）

13.56MHz

Control system（控制系统）

LCD Touch panel with PLC

Tuning method（调谐方法）

Automatic and Manual自动和手动

Timer（定时）

1sec-9H 59min 59 sec

Chamber size（内槽尺寸）

(W)600×(D)550×(H)600mm

Stage size（工作台尺寸）

(W)460×(D)400mm

Chamber material（工作室材料）

Aluminum

Reaction gas（反应气体）

O2,Ar,CF4混和气体

Purge gas（净化气体）

N2 or Dry air

Flow meter（流量计）

Mass flow control 2 line双路聚合控制

Vacuum pump（真空泵排气量）

1,400L/min

Emergency stop switch(紧急停止开关)

Push type switch

Gas port（气体端口）

2 pc (1/4"SUS swage - lock)

Purge port（净化端口）

1pc (1/4"SUS swage - lock)

Vacuum port（真空泵端口）

1pc (SUS NW40)

External dimension（外形尺寸）

(W)900×(D)1,000×(H)1,700mm

Power supply（电源供应）

AC200/220/380V 3 phase 25A

Weight（重量）

Approx. 300kg