Model（型号）

PC1000-5030

Plasma method （等离子模式）

RIE • DP

Electrode（电极）

Parallel flat stage plate平行平板（电极间距可变）

RF generator（高频输出功率）

100~1000W

Oscillation frequency（振荡频率）

13.56MHz（水晶发振）

Control system（控制系统）

LCD Touch panel with PLC触摸式液晶显示操控盘

Chamber size （工作室尺寸）

(W)600×(D)370×(H)145mm

Stage size（工作台尺寸）

(W)500×(D)300mm

Chamber material（工作室材料）

Aluminum

Reaction gas（反应气体）

O2,Ar,CF4,C5F8,SF6 or others

Purge gas（净化气体）

N2 or Dry air

Flow meter（流量计）

Mass flow control 2 line（双路聚合流量控制）

Vacuum pump（真空泵排气量）

700L/min

Gas system（气路）

2 line (Reaction gas) , 1 line (Purge gas)

External dimension（外形尺寸）

(W)900×(D)950×(H)1,530mm

Power supply（电源供应）

AC200/220/380V 3 phase 25A