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TIME3221技术参数
1、测量参数:Ra、Rp、Rv、Rt、Rz、Rq、Rsk、Rku、Rc、RPc、RSm、Rmr(c)、tp、Rmr、Rpm、Rz1max、RzJIS、Rmax、Htp、Rδc、、RΔq、RΔa、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、A1、A2 Pa、Pp、Pv、Pt、Pz、Pq、Psk、Pku、Pc、PSm、Pmr(c)、Pmr、Pz1max、PzJIS、Pδc、PΔq;
2、传感器:检测原理:电感式测量范围:400μm 针尖半径:5μm 针尖材料:金刚石触针测力:4mN 触针角度:90° 导头纵向半径:45mm
3、最大驱动行程:19mm
4、量程和分辨力
量程 | 分辨力 |
±25μm | 0.001μm |
±200μm | 0.008μm |
5、波方式:2RC、GAUSS;