日本爱发科ULVAC

日本爱发科ULVAC 低温泵 CRYO-U 特型：

真空ポンプ（クライオポンプ）アルバック・クライオ株式会社

クライオポンプ　CRYO-Uシリーズ特型クライオポンプ

ベーカブルタイプ極高真空に最適

ベーカブルタイプのクライオポンプは、ポンプ壁を150℃〜200℃に加熱することにより容易に10-8Pa以下の極高真空を得ることができます。（CTI製品を除く機種はベーカブルタイプの製作が可能です。）

スーパートラップ水の排気専用

1段式冷凍機を用いた極低温トラップです。LN2が必要なく、手間、コストの面からもお得です。用途に応じて設計製作が可能です。

L型タイプ装置のコンパクト化に貢献

冷凍機ユニットを横方向より取付けることより、高さ方向の寸法を極力小さくしたものです。（CTI製品を除く機種はL型タイプの製作可能です。）

Vacuum Pump (Cryopump) ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED

Cryopump CRYO-U Series (Special Type)

Bakable type for ultra-high vacuum

The bakable type cryopump can eas-ily produce an ultra-high vacuum on the order of 10-8 Pa by heating the pump wall up to 150 °C – 200 °C.

Super trap for pumping water vapor

Super trap is a cryogenically cooled trap used for the 1st stage refrigerator. Super trap required no LN2 resulting in low operation cost. Designs for special use are possible.

L type pump

The refrigerator unit is installed in a horizontal position, reducing the over-all height.