真空ポンプ（クライオポンプ） アルバック・クライオ株式会社

クライオポンプ　CRYO-Uシリーズ オプション

 

クライオ熱電対温度計 MBS-C

クライオ熱電対温度計はノイズに強いシース型で

クライオポンプ運転の遠隔監視と自動化に最適です。

●極低温10K（-263℃）から350K（77℃）の高温まで幅広い温度測定ができます。

内蔵する2個の接点出力は、クライオポンプの15Kクライオパネルの温度が一方は20K以下でON、もう一方は100K〜350K（任意測定が可能）以上でONとなり、クライオポンプの再生時の信号として使用できます。

●ノイズに強いシース型でコンパクトな構造です。

80Kシールド温度測定用のCA線と15Kクライオパネル温度測定用の金鉄—クロメル線のシース型熱電対がひとつのフランジにセットされています。

●クライオパネルの温度を3段階に分けてランプ表示します。

CA熱電対の出力は、そのまま起電力として取り出せるようCA線用出力コネクターに導かれています。金鉄—クロメル熱電対の出力は、クライオポンプ運転状態とポンプ停止後の昇温過程を3段階に分けてランプ表示します。＊熱電対の長さはクライオポンプの機種により異なりますので、ご用命の節はクライオポンプの機種をお知らせください。

 

 

クライオメータ MBD型 従来型（MBM）をデジタル化し、よりコンパクトなデザインになりました。

●クライオ熱電対温度計MBS型との接続により、クライオポンプの正確な温度をデジタル表示し、遠隔監視できます。

●クライオ熱電対温度計MBS-C型の電源としてもご使用いただけます。

 

再生用バンドヒータ RBH型

クライオポンプの昇温時間を短縮、排気した水の蒸発を促進し、再生を完璧に、粗引時間を確実に短縮することができます。また、薄いバンドタイプなので狭いスペースでも取付けが容易です。

 

ダイオード温度計 DT-1型

10K〜320Kの広範囲な温度測定ができます。しかも、この範囲内で任意の2点の温度を設定し、接点信号として取り出すことができ自動化に役立ちます。

日本爱发科ULVAC 低温泵 CRYO-U【構成】

●ダイオードセンサ…DS-1型

●ダイオードインジゲータ…DI-1型

 

再生ガス配管ユニット PR型

再生時のドライN2ガスパージユニットです。確実に昇温時間を短縮します。

 

Vacuum Pump (Cryopump)                  ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED

4K CRYOCOOLER (UR4K03)

 

New Cryo Technology from ULVAC Cryogenics

Since 1981, ULVAC CRYOGENICS INC. has manufactured cryopump systems for the semiconductor, LCD and related vacuum industries. Our experience in these competitive markets has taught us to build highly reliable and powerful 2-stage Gifford-McMahon refrigerators. We have leveraged that experience and developed a 4K cryocooler, utilizing our own proprietary technology, which can be used for labora-tory or industrial applications to eliminate the need for liquid helium. This compact unit features excellent thermal stability and low input power.