株式会社       アルバック　規格品事業部 真空ポンプ（ドライ真空ポンプ）

 

ドライポンプ省電力化アタッチメント　ECO-SHOCK

 

ECO-SHOCK は、現在ご使用のドライポンプに取り付けることによって、ドライポンプの消費電力を大幅に低減することが可能な、画期的なアタッチメントです。

主に、半導体・FPD 製造ラインの不活性ガス排気用途でご使用中のドライポンプに最適です。

 

日本爱发科ULVAC 干泵 　ECO-SHOCK【特　　長】

●省エネ対策に大きく貢献

        ドライポンプの消費電力を最大80％（当社比）削減可能※1

        ドライポンプの発熱を抑える効果もあり空調機器の電力削減が可能

        ECO-SHOCKの運転には65Wの電力のみで、N2や冷却水は不要

※可燃性、支燃性、有毒性ガス等を排気する用途にはご使用いただけません

●容積移送型ドライポンプで効果を発揮…

        多段ルーツ型で大きな効果を発揮※2

        1000Pa以下の連続運転時間が多い用途での効果大

●ドライポンプの性能を改善

        到達圧力性能の向上が期待可能

        排気の騒音を低減可能

        全圧力領域にて排気速度の低下無し

●ユーザフレンドリー

        排気配管にバルブユニットを取り付けることにより設置が可能※3

※１       取り付け機種やドライポンプの使用ガス量などにより消費電力削減率は異なります。

※２       クロールーツ型、スクリュー型、軸シール構造などにより使用できない場合もありますので、ご使用前に弊社営業または最寄りのアルバックテクノ㈱ＣＳセンターへお問い合わせください。

※３       ポンプの設置環境より一部改造などが必要な場合があります。最寄りのアルバックテクノ㈱ＣＳセンターにて、現地取り付け工事を賜ります。

 

日本爱发科ULVAC 干泵 　ECO-SHOCK【用　　途】

●スパッタ、蒸着装置などのターボ分子ポンプの粗引き排気用ドライポンプの省エネ対策

●L ／ L 室排気用ドライポンプの省エネ対策

●真空オーブン、真空乾燥器などの排気用ドライポンプの省エネ

●真空ラミネータ、真空パックなどの排気用ドライポンプの省エネ

 

Vacuum Pump                  Components Division, ULVAC, Inc.

Power Saving Accessory for Dry Pumps    ECO-SHOCK

 

ECO-SHOCK is a revolutionary dry pump accessory that can reduce power consumption by attaching to the dry pump exhaust line.

ECO-SHOCK is available for dry pumps that mainly pump inert gas at semiconductor and FPD plants.

 

Features

• ECO-SHOCK Contributes to Energy Savings:

Max.80% reduction of power consumption of dry pump. *1Effective in suppressing heat generation of dry pump resulting in reduction of air conditionaing costs.ECO-SHOCK runs with only 65 Watts of power and without N2 and cooling water.

*Unusable when pumping fammable and toxic corrosives gases.

• Effective When Used with a Capacity Transfer Type of Dry Pump:

Excellent results when used with a multi-stage root type. *2Very effective when dry pump runs lower than 1000Pa.

• Overall Dry Pump Performance is Improved:

Improves ultimate pressure performance.Reduction in exhaust gas noise.No reduction in pumping speed in all pressure range.

• User-friendly:

Easy installation by attaching a valve unit to the exhaust pipe. *3

*1 A power consumption reduction rate changes with depending on pump model and gas volume, etc.

•2 ECO-SHOCK could not be used with certain claw root, screw  type or shaft seal pumps, etc. Contact ULVAC for details.

•3 Modification could be required prior to installation of the ECO-SHOCK. Contact your nearest ULVAC service center for installation.

 

Applications

• Power saving of dry pumps used as fore pumps of turbo molecular pump on sputtering and evaporation system.

• Power saving of dry pumps for load lock chambers.

• Power saving of dry pumps for vacuum laminator and vacuum packing, etc.