真空ポンプ（ドライ真空ポンプ） アルバック機工株式会社

ダイアフラム型ドライ真空ポンプ　DA/DATシリーズ

日本爱发科ULVAC 干泵 DA/DAT【特　　長】

●豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空ポンプのスタンダードタイプ

●接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ

●用途に合わせて選べる豊富なラインナップ

●１段排気方式は、２段排気方式より大きい排気速度

●２段排気方式は、１段排気方式より低い圧力（良い真空）

●サーマルプロテクター内蔵による安全設計

●大気圧からの作動が可能

●シンプル構造で、メンテナンスが容易

 

Vacuum Pump                           ULVAC KIKO, Inc.

Diaphragm Type Dry Vacuum Pump                         DA/DAT Series

 

Features

Diaphragm type pump creates vacuum by reciprocate movement of rubber diaphragms.

Pump structure makes Oil-free environment and maintenance easy.

Various pumping speed and two/single stages are selectable depends on your required pressure and pumping volume.

 

Applications

• Vacuum chucks, wafer and tip handling devices.

• Vacuum tweezers, medical appliances.

• Printing equipment.

• Automatic packing machines.

• Optical appliances.

• Semiconductor industry.

• Injection molding machine