日本爱发科ULVAC

日本爱发科ULVAC 干泵　DIS：

真空ポンプ（ドライ真空ポンプ）アルバック機工株式会社

スクロール型ドライ真空ポンプ　DISシリーズ

日本爱发科ULVAC 干泵　DIS【特　　長】

●大排気量でコンパクトサイズ

●ドライ型真空ポンプとしては、最高レベルの到達圧力

●エアーフラッシュにより水分凝縮を抑止

Vacuum Pump ULVAC KIKO, Inc.

Scroll Type Dry Vacuum Pumps DIS Series

Features

• Double wrap type scroll pump which consists of 1 orbiting and 2 fixed scrolls.

• Operation from atmospheric pressure is possible.

• High ultimate pressure level is attainable

• Low vibration and low noise.

• Maintenance cycle can be controlled by hour meter.

Applications

• Analytical equipment.

• Gas recovery system.

• Coating equipment.

• Back pump for TMP.

• Helium leak detector.

• Manufacturing process for semiconductor.