日本爱发科ULVAC

日本爱发科ULVAC 油扩散泵 ULK：

真空ポンプ（油拡散ポンプ）株式会社アルバック　規格品事業部

油拡散ポンプ　ULKシリーズ

ULVAC油拡散ポンプULKシリーズは真空排気の豊富な経験をもって新しく迎える時代に適応する商品としてモデルチェンジしました。性能については言うまでもなく、極めて低いランニングコストをめざして設計、商品化されたポンプです。

日本爱发科ULVAC 油扩散泵 ULK【特　　長】

●ポンプの全高が小さくなりました（当社比80%）。

●ルーズフランジ方式が採用されています（ULK-04A、06A、排気口フランジを除く）。

●指定により、JIS以外の規格のフランジも取り付けることができます（例えば、ISO、ANSI、IMSIなど、ULK-04A、06A排気口フランジを除く）。

●ポンプの洗浄が容易にできます（部分の分解が、容易にできます）。

●補助ポンプ側への作動液の流出防止機構を備えています。

●〜10-2Pa台での性能が、非常に安定しています。

●臨界背圧を大きく設計しています（性能表を参照ください）。

※ご注文時には、名称・作動油の種類・電圧・数量をご指定ください。

Vacuum Pump (Oil Diffusion Pump) Components Division, ULVAC, Inc.

Oil Diffusion Vacuum Pump ULK Series

ULVAC’s diffusion pumps ULK Series have been developed not only for supe-rior performance, but also for extremely low operating cost.

Features

• Shorter pump body height

Loose flange system adopted (Except the outlet port flange for ULK-04A and 06A)

• Loose flange system allows specification and installation of an arbitrary size

flange, like ISO, ANSI, IMSI, etc. (Except the outlet port flange for ULK-04A and 06A)

• Easy to clean due to simple disassembly of the pump

• Check mechanism prevents the working fluid from flowing to the fore pump side.

• Stable operation at the 10–2 Pa level.

• High critical backing pressure (see below list)

Please specify the model, type of flange, working fluid, voltage and quantity when ordering.