超纯水颗粒监测系统 / 去离子水监测颗粒计数器 / 精密清洗液洁净检测系统 / 0.05微米微粒监控仪

Ultrapure-50 超纯水在线颗粒计数监测系统
 
一, 产品特点
    去离子水厂监测水平更进一步——Ultrapure-50超纯水在线颗粒计数器监测系统以可承受的价格提供非常低的颗粒浓度下小颗粒测量

二, 产品性能:

0.05和0.1μm的标准颗粒尺寸
4-20mA模拟输出
高流速——极快的清洁时间
一体化设计——低维护量
出众的流量设置——“设置完了就可以不管”
激光能量诊断
有颗粒计数软件
校正完全可追溯NIST标准

三, 产品介绍:

    颗粒监测，特别是超纯水(UPW)监测，仍然是半导体制造行业的一个主要门槛。设备设计规则的提高要求不断降低制程流体中的颗粒水平。因此，制造过程中需要测试的不仅是小颗粒尺寸而且是非常低浓度下的小颗粒。
    在可承受的价格下降低了错误计数率，Anatel的Ultrapure-50超纯水在线颗粒计数器监测系统提供了对于0.05和0.1μm的超纯水(UPW)监测的整合方案。无论您的应用包括在制程中使用处(POU)的查错，或是仅在厂务超纯水厂中重要位置的监测，Ultrapure-50 在最低颗粒浓度检测时表现出色。
    Ultrapure-50超纯水在线颗粒计数器监测系统把牢固的光学结构，计数及通讯电路和独特的流量控制系统整合在一台仪器中，提供超群的性能。在高压力应用中，比如去离子水厂的监测，全套系统流速可以超过1.0L/min。Ultrapure-50因为有极好的流量控制和动态的入口压力调节具备极快的清洁和恢复时间。
    Ultrapure-50超纯水在线颗粒计数器监测系统是一套完整的系统，非常容易安装并集成到您现有的厂务监控系统(FMS)或楼宇管理系统(BMS)中。Ultrapure-50超纯水在线颗粒计数器监测系统可以被当作单台仪器使用并与许多软件包兼容。
    颗粒计数经常和总有机碳含量(TOC)测量相互补充，Anatel是半导体和平板显示行业的TOC监测行业标准。Anatel的TOC分析系统是可以被组合在任何水系统中的一系列模块化的组件。现在，因为加上了颗粒计数，Anatel使仪器功能更进一步，确保在您的高纯水(UPW)管路系统中提高效率和良品率。

四, 技术参数

粒径通道：0.05, 0.1 微米
系统流速：>1升/分钟
样品流速：10毫升/分钟（样品入口压力调整到30-100psi）
光源：激光二极管830nm
样品入口压力：不超过100psig（690kpa）不低于7.0 psig
操作温度：15～30℃
样品温度:   15～30℃

物理指标

电源：100-250VAC，50/60Hz
功耗：不大于90VA（100V时0.8A）
I/O接口：模拟光电隔离4-20mA输出（标准2通道）
                RS-232 设置时用的串行口
                电气I/O连接在仪器底部，带有保护盖
显示：     2通道数据
指示灯： 电源，激光情况，泄漏情况
液体连接：SS1/4’’ Swagelok（样品入口和出口）
                 外置流量计
外壳：      涂漆铝壳
尺寸：      305mm(L) x 203mm(W) x 190.5mm(H)
相对湿度：不超过90%，不凝露

包含附件

包括：电源装置，1/4’尼龙样品和排放管，电源线，操作员手册