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产品型号：MDA-8000
公司名称：维思特科仪有限公司
所在地：湖北武汉
发布时间：2008-12-30
维思特科仪有限公司
产品简介
晶片工作台 基底尺寸 最大可达8英寸 最大可达25英寸转头 最大可达8英寸 最大可达25英寸活动范围 X 10mm Y 10mm Z 5mm Theta 4 degree 对准精度 1um
产品详情
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联系人：邓华中市场部经理
联系电话：027-50486618
晶片掩膜间隙 自动挤入补偿
振动保护 配备抗振平台
Z的西塔轴运动 Motorizing 马达驱动
真空系统 无油真空泵
Mask stage
掩膜台
掩膜夹取类型 真空*剪辑
相邻间隙 掩膜与晶片接触 间隙球
紫外光源
紫外灯 1千瓦 可达8千瓦
均匀光束大小 8.25x8.25英寸 可达25x25英寸
曝光模式 压力/真空/相邻
曝光时间控制 可编程的
曝光定时器 1 ~ 999.9 秒
显微镜
型号 双变焦范围显微镜与CCD镜头
监视器 LCD监视器
视频模式 单一和剪辑型
放大倍数 80 ~ 500倍 1,000倍
聚焦方式 手动的 自动的（可视化软件）
目标间距 可调的
控制系统
控制器 电脑或单片机控制
掩膜(用户自定义)
图案形状 用户自定义
掩膜厚度(用户自定义)
尺寸 可达9英寸掩膜 用户自定义
系统组件：
紫外光源构造
带托盘的晶片工作台
配CCD镜头的显微镜
监视器
掩膜夹具
紫外光源透镜
紫外光源镜片
紫外灯电源供应系统
操作控制器
防振平台
1KW紫外灯
需要更详细的咨询，请与内地营销服务中心 邓先生，刘先生联系
Tel:(上海)(武汉) mobile:0 QQ:7155874 Email:aaron_deng@126.com,aaron_deng@mycro.com.cn MSN:aaron_deng@hotmail.com aaron_deng@kobuyonline.com
- 询价产品：MYCRO韩国产紫外曝光机/光刻机 MDA-8000
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