SPH-1型纳米结构表面检测装置
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价格: 面议
产品型号:SPH-1型纳米结构表面检测装置
品牌:0
公司名称:岛津国际贸易(上海)有限公司/岛津(香...
地:上海
发布时间:2006-09-25
岛津国际贸易(上海)有限公司/岛津(香...
产品简介
过去很难测量1μm以下的集成电路、金属薄膜、离子注入层等的表面纳米范围内的硬度、强度、变形率等物理性质,如今用此装置可以实现。<br>
产品详情
技术参数

技术参数

● 载荷方式: 通过压力元件将压头从两边顶起
● 最大试验力:2mN 分辨率 0.1μm
● 深度测定: 0~2μm 分辨率 0.1nm
● 压痕观察倍率:100,000倍以上


主要特点

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