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SHSZ82片状薄层微小电阻测试仪
一、概述
SHSZ82型数字式四探针测试仪(片状薄层微小电阻测试仪)是运用四探针测量原理的多用途综合测量装置,SHSZ82片状薄层微小电阻测试仪(数字式四探针测试仪)可以测量片状、块状半导体材料的径向和轴向电阻率,测量扩散层的薄层电阻(亦称方块电阻)。SHSZ82片状薄层微小电阻测试仪(数字式四探针测试仪)换上特制的四探针测试夹具,还可以对金属导体的低、中值电阻进行测量。
SHSZ82片状薄层微小电阻测试仪(数字式四探针测试仪)由主机、测试架等部分组成,测试结果由数字表头直接显示。主机主要由高灵敏度直流数字电压表和高稳定度恒流源组成。测试探头采用宝石导向轴套和高耐磨碳化钨探针制成,故定位准确、游移率小、寿命长。
SHSZ82片状薄层微小电阻测试仪(数字式四探针测试仪)具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、测量范围宽、结构紧凑、使用方便等特点。
SHSZ82片状薄层微小电阻测试仪(数字式四探针测试仪)适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能的测试。
SHSZ82片状薄层微电阻测试仪工作条件为:
温 度: 23℃±
相对湿度: 60%~70%
工作室内应无强电磁场干扰,不与高频设备共用电源。
⑵ 扩散层的方块电阻测量
电流\电阻\电压
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0.2mV
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2mV
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20mV
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200mV
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2V
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100Ma
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2mΩ
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20mΩ
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200mΩ
|
2Ω
|
20Ω
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10mA
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20mΩ
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200mΩ
|
2Ω
|
20Ω
|
200Ω
|
1mA
|
200mΩ
|
2Ω
|
20Ω
|
200Ω
|
2kΩ
|
100μA
|
2Ω
|
20Ω
|
200Ω
|
2kΩ
|
20kΩ
|
10μA
|
20Ω
|
200Ω
|
2kΩ
|
20kΩ
|
200kΩ
|
电阻率范围(Ω-cm)
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电流档
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<0.012
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100mA
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0.008-0.6
|
10mA
|
0.4-60
|
1MA
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40-1200
|
100μA
|
>800
|
10μA
|
电流\电阻率\电压
|
0.2mV
|
2mV
|
20mV
|
200mV
|
2V
|
100mA
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10-4~10-3
|
10-3
|
|
|
|
10mA
|
|
10-3~10-2
|
10-1
|
|
|
1mA
|
|
10-1
|
1~20
|
10~50
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102~103
|
100μA
|
|
|
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200~500
|
103~104
|
10μA
|
|
|
|
|
105
|
电压量程
|
2V
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200mV
|
20mV
|
2mV
|
0.2mV
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电流量程
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100mA
|
10mA
|
1mA
|
100µA
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10µA
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