分辨率
高真空(二次电子)
低真空(背散射电子)

（低真空二次电子)

 
1.0nm(30kV),1.2nm(15kV),2.0nm(3kV)
2.0nm(30kV)
1.5nm(30kV), 3nm(3kV)

 工作真空
 高真空 
 低真空
 枪体真空

 
<5×10-4Pa
7-150Pa
<3×10-7Pa

 电子光学工作模式

分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样

 放大倍率

3.5×-1,000,000×连续可调

 加速电压

200V至30kV

 电子枪

高亮度肖特基发射源

 探针电流

2pA至100nA

 扫描速度

从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续可调

 聚焦窗口

大小和位置连续可调

 扫描特性

动态聚焦，聚焦窗口，点和线扫描，倾斜校正，实时三维图像

 图象尺寸

最大可达8192×8192象素，图像比例可选1：1、4：3或2：1

 显微镜控制

能过计算机（键盘、鼠标、轨迹球）操作Mira TC软件，所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现。

 自动程序

独有的实时电子束追踪(In-Flight Beam TracingTM)技术可持续调节探针电流和束斑直径，真空控制，电子枪合轴，光阑&透镜对中，加速电压改变的补偿，最优化束斑大小和探针电流，最优化放大倍率和束斑大小，扫描速度，高度和对比度，聚焦和消像散，灰度等级调整。

 远程控制

TCP/IP

样品室

 软     件

 内部尺寸

Ф230mm

测量软件

 门宽

148mm

图象操作

 接口数量

11+

图象处理

 样品室减振方式

气垫减振（可选配内置主动式电磁减振）

三维扫描

+可根据客户需求调整接口数量和位置。

硬度测量

 样品载台 

多图校正

 类型

全电脑化优中心

投影面积

 
 
 移动范围

全马达驱动控制方式:
X=80mm－－马达驱动
Y=60mm－－马达驱动 
Z=47mm－－马达驱动
旋转:360°连续可调－－马达驱动
倾斜:-80°到+80°－－马达驱动

打印放大倍率

关机定时器

公差测量

 形态学

 颗粒度分析

自动抓图

 图象观测

电子束写入

 样品高度

最大81mm

 鼠标连接