非接触式测量工具显微镜 HISOMET系列

日本UNION非接触式测量工具显微镜

HISOMET系列工具显微镜为一专业X、Y、Z轴座标测量显微镜，X、Y工作台行程由50×50mm到大行程500×500mm，放大倍数由5×至1000×。为求提高工件在Z轴深度/高度测量时的精度，Z轴对焦采用一砖利光学“裂像指示器”，结合精密的Z轴“Cross Roller Bearing”导轨，可测范围25 mm，精度高达1μm，配合特殊附件，测量分解度更可达0.5μm或0.1μm。

非接触式测量显微镜

对焦清楚后如下图：

应用实例：

技术规格：

型号	DH II
工作台行程mm	50×50	100×100	100×200	150×150	150×300	300×300	500×500
Z轴测量范围	25mm	25mm	25mm	25mm	25mm	25mm	25mm
X、Y、Z轴数显分解度	0.001mm
Z轴读数装置	内置数显表／外置数据处理系统
反射照明系统	内置LED／外置冷光源
标准目镜	NWF10X
标准物镜（W.D.12mm）	PLM10X
读数系统	简易座标读数器
	多功能数据处理器
	测量软件电脑系统
选购物镜	PLM3X(W.D.8.5mm), PLM5X(W.D.19mm), PLLWDM20X (W.D.11.2mm), PLLWDM40X(W.D.10mm), SPLM50X (W.D.1.5mm), PLLWDM100X (W.D.5.0mm), SPLM100X(W.D.1.0mm)