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日本东京精密表面粗糙度仪
可管理测量条件及测量结果,以二进制格式和文本格式输出测量数据。从电脑的PC卡插槽很容易读取。
型号
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SURFCOM 130A
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测量范围 |
X轴(横向)
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50m
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Y轴(纵向)
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800mm(测量范围/分辩率:800mm/10nm、80mm/1nm、8mm/0.1nm)
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直线度精度
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0.3mm/50mm
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分析项目 |
使用规格
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JIS-2001,JIS-1994,JIS-1982,ISO-1997,ISO-1984.DIN-1990,ASME-1995,CNOMO规格
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参数
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Ra,Rq,Ry,Rp,Rv,Rc,Rz,Rmax.Rt,Rz.J.R3z.Sm.S.R△q.Rla.Rlq.
TLLTA.lr.Pc.Rsk.Rku.Rk.Rpk.Rvk.Mr1.Mr2.Vo.K.tp.Rmr.tp2.Rmr2.Rdc AVH.Hmax.Hmin.AREA.NCRX.R.Rx.AR.NR.CPM.SR.SAR |
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评价曲线
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剖面曲线、粗糙度曲线、滤波波纹度曲线、滤波中心线波纹度曲线、滚动圆波纹度曲线、滚动圆中心线波纹度曲线、DIN4776特殊曲线、粗糙度中心曲线(Motif)、波纹度中心曲线(Motif)、包络波纹度曲线
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表面特性图表
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负荷曲线、功率谱曲线图、振幅分布曲线
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倾斜补偿方式
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直线补偿、R面补偿、前半补偿、后半补偿、两端补偿、花键补偿、(直线、R面、两端补偿可以在任意范围内)
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倍率
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纵倍率(Z轴)
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50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、100K、200K*、500K*倍、自动
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横倍(X轴)
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1、2、5、10、20、50、100、200、500、1K、2K、自动
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滤波器的种类
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标准型滤波器2RC、相位补偿型滤波器2RC、相位补偿型滤波器(高斯滤波器)
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测量速度
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0.3、0.6、1..5 3mm/s(4速)
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传感器
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前端半径2mm、材质为金刚石、测量力为0.75mN
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先进的功能 |
测量AI
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装载有测量AI功能、即使初学者也可容易掌握
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段差分析功能
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最适于测量半导体零部件的膜厚及面积
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PC卡
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输出文本文件、将数据传送至电脑
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标准配件
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标准片E-MC-S24B、记录纸(E-CH-S21A)、触摸笔(E-MA-S54A)操作说明书
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各要素 |
电源
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AC100~240V±10%、50/60Hz、30VA
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设置尺寸
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700(W)*300(D)*150(H)mm
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质量
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8Kg
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型号
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SURFCOM 130A
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测量范围 |
X轴(横向)
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50m
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Y轴(纵向)
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800mm(测量范围/分辩率:800mm/10nm、80mm/1nm、8mm/0.1nm)
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直线度精度
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0.3mm/50mm
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分析项目 |
使用规格
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JIS-2001,JIS-1994,JIS-1982,ISO-1997,ISO-1984.DIN-1990,ASME-1995,CNOMO规格
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参数
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Ra,Rq,Ry,Rp,Rv,Rc,Rz,Rmax.Rt,Rz.J.R3z.Sm.S.R△q.Rla.Rlq.
TLLTA.lr.Pc.Rsk.Rku.Rk.Rpk.Rvk.Mr1.Mr2.Vo.K.tp.Rmr.tp2.Rmr2.Rdc AVH.Hmax.Hmin.AREA.NCRX.R.Rx.AR.NR.CPM.SR.SAR |
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评价曲线
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剖面曲线、粗糙度曲线、滤波波纹度曲线、滤波中心线波纹度曲线、滚动圆波纹度曲线、滚动圆中心线波纹度曲线、DIN4776特殊曲线、粗糙度中心曲线(Motif)、波纹度中心曲线(Motif)、包络波纹度曲线
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表面特性图表
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负荷曲线、功率谱曲线图、振幅分布曲线
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倾斜补偿方式
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直线补偿、R面补偿、前半补偿、后半补偿、两端补偿、花键补偿、(直线、R面、两端补偿可以在任意范围内)
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倍率
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纵倍率(Z轴)
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50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、100K、200K*、500K*倍、自动
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横倍(X轴)
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1、2、5、10、20、50、100、200、500、1K、2K、自动
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滤波器的种类
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标准型滤波器2RC、相位补偿型滤波器2RC、相位补偿型滤波器(高斯滤波器)
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测量速度
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0.3、0.6、1..5 3mm/s(4速)
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传感器
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前端半径2mm、材质为金刚石、测量力为0.75mN
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先进的功能 |
测量AI
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装载有测量AI功能、即使初学者也可容易掌握
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段差分析功能
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最适于测量半导体零部件的膜厚及面积
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PC卡
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输出文本文件、将数据传送至电脑
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标准配件
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标准片E-MC-S24B、记录纸(E-CH-S21A)、触摸笔(E-MA-S54A)操作说明书
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各要素 |
电源
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AC100~240V±10%、50/60Hz、30VA
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设置尺寸
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700(W)*300(D)*150(H)mm
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质量
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8Kg
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