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产品型号：硅片厚度测量仪
公司名称：北京华海恒辉科技有限公司
所在地：北京海淀
发布时间：2012-03-30
北京华海恒辉科技有限公司
产品简介
硅片厚度测量仪
· 硅片厚度数据的管理方法
1、数据收集功能（选配）
用RS-232功能+数据计算环软件的组合，在测量每个工件时数据就自动的传送给PC。
2、打印功能
在显示部件上连接选配的BCD输出打印机，在每个工程测量时，测量数据就自动的进行打印输出。
· 特长
适用于各种硅片的尺寸（3，5，6，8，12英寸）
更换规格时（更换档位销）
用提升杠杆发打印输出指
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硅片厚度测量仪
· 硅片厚度数据的管理方法
1、数据收集功能（选配）
用RS-232功能+数据计算环软件的组合，在测量每个工件时数据就自动的传送给PC。
2、打印功能
在显示部件上连接选配的BCD输出打印机，在每个工程测量时，测量数据就自动的进行打印输出。
· 特长
适用于各种硅片的尺寸（3，5，6，8，12英寸）
更换规格时（更换档位销）
用提升杠杆发打印输出指令（给打印机或PC）
型号 | 6英寸用 | 8英寸用 | 12英寸用 | |
商品编号 | 09002501 | 09002505 | 090025011 | |
精度 （温度20℃±1℃） | 累积指示误差±0．15μm 行程3 mm以内 重复精度0．2μm（20） | |||
测量部 | 传感器 | PH-01 | ||
测力 | 1．2～2N/0～5 mm | |||
硅片直径 | φ3″，φ4″，φ5″，φ6″ | φ3″，φ4″，φ5″，φ6″，φ8″， | φ3″，φ4″，φ5″，φ6″，φ8″，φ12″ | |
收张行程 | 5mm | 5 mm | 5mm | |
尺寸 | 160(W)×175(D)×185(H)mm | 200(W) ×210(D)×185(H)mm | 300(W) ×291(D)×185(H)mm | |
显示部件 | 形式 | DH-151 | ||
显示部 | 绿色荧光显示管 | |||
显示位数 | 7位及［—］号 | |||
最小显示量 | 0．0001 mm （ 0．1μm） | |||
尺寸重量 | 278(W) ×300(D)×81(H)mm, 约2．7kg | |||
电源 | AC85～250V， 50/60HZ, 10VA | |||
电源电缆 | 3m AC可分析 | |||
- 询价产品：硅片厚度测量仪 硅片厚度测量仪
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