HF中杂质含量:
元素 测量浓度(ppb) 元素 测量浓度(ppb)
Ag <0.05 In <0.05
Al 0.2 K 0.6
As <0.05 Li <0.05
Au <0.05 Mg 0.08
Ba <0.05 Mn <0.05
Be <0.1 Mo <0.05
Bi <0.05 Ni 0.3
Ca 0.1 Pb <0.05
Cd <0.05 Sb <0.05
Co <0.05 Sn <0.05
Cr <0.05 Sr <0.05
Cu <0.05 Ti <0.1
Fe 0.25 Tl <0.05
Ga <0.05 V <0.05
Ge 0.4 Zn <0.05