性能特点：

Ø  配有双数字表：一块数字表在测量显示硅片电阻率的同时，另一块数字表（以万分之几的精度）适时监测全过程中的电流变化，使操作更简便，测量更精确。

Ø  数字电压表量程：0—199.99mV  灵敏度：10μV  输入阻抗：1000ΜΩ

l   基本误差±(0.04-0.05%读数+0.01%满度)

Ø  可测电阻率范围：10—4 —1.9×104Ω·cm。

u  可测方块电阻范围：10—3 —1.9×105Ω/□。

Ø  设有电压表自动复零功能，当四探针头1、4探针间未有测量电流流过时，电压表指零，只有1、4探针接触到硅片，测量电流渡过单晶时，电压表才指示2、3探针间的电压（即电阻率）值，避免空间杂散电波对测量的干扰。

Ø  流经硅片的测量电流由高度稳定（万分之五精度）的特制恒流源提供，不受气候条件的影响，整机测量精度＜3%。

Ø  电流量程分五档：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。

Ø  仪器采用触点电阻更低（＜5mΩ）、使用寿命更长的转换开头及继电器（＞10万次），在绝缘电阻、电流容量方面留有更大的安全系数，提高了测试仪的可靠性和使用寿命。

Ø  可加配电脑，使用专用软件进行数据采集,实现自动换向测量、存储,求平均值，最大值、最小值、最大百分变化率、平均百分变化率等内容。

Ø  可配KDDJ-2电动测试架，自动上下运行，使测量更方便快捷。

Ø  四探针头采用国际上先进的红宝石轴套导向结构，使探针的游移率减小，测量重复性提高（国家知识产权局已于2005.02.02授予专利权，专利号：ZL03274755.1）。

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