能量色散型微区X射线荧光光谱仪特点

• 配备新开发的X射线集束毛细管透镜，实现了最小分析直径达50μm的微区测定，适合半导体/电子部件/食品领域等高灵敏度、高分辨率分析。
• 可以在大气中进行从轻元素到重元素（Na～U：μEDX-1300；Al～U：μEDX-1200／1400）的分析。
• 配备双CCD（高倍率,低倍率）摄像头，可以在观察样品图像的同时方便地决定分析位置，进行分析。
• 标准配备无标样定量FP法、薄膜成分/膜厚分析用的薄膜FP法以及可以测定聚合物薄膜的背景基本参数（BG-FP）法。
• 5种1次X射线滤光片自动交换机构，可消除来自X射线管的特征X射线，提高信噪比。

能量色散型微区X射线荧光光谱仪规格

• 测定対象：固体、液体、粉末
• 祥品尺寸：最大150×150×40mm
• 测定范围：μEDX-1200型／₁₃AI～₉₂U、μEDX-1300型／₁₁Na～₉₂U、μEDX-1400型／₁₃AI～₉₂U