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产品性能特点:
-面形测量PV,RMS,IRR,POWER,1/20精度
-曲率半径测量功能,1um精度
-曲率半径条件下测量光圈N,输入到数控抛光机中修光圈,省去光学样板成本
-提高4英寸干涉仪60%覆盖范围
-高效,气浮移动载物台,微调器,减少预调时间,半径相同镜片可连续测量
-高安全性,气浮无摩擦移动,不掉落样品,配重平衡系统,载物台无倾斜移动
-高稳定性,气浮隔振,导轨+气浮台+干涉仪集成一体防震设计,可在车间内震动环境下依然保持高测量精度
-软件中输入被测样品曲率,口径,自动推荐最合适的标准镜
-设备耐用,非接触测量,无损耗
-提供适合车间使用的标准镜更换夹具
-高速条纹分析软件,自动判别合格品,质量趋势统计,合适车间使用
-可升级客户已有ZYGO干涉仪
工作范围 |
最小1200mm行程,(1400mm线性量尺),150mm测量口径(取决于使用的TS)千分微调器,可容易并精密的找到猫眼和球心位置 |
干涉仪主机 |
_4英寸菲索干涉仪主机,6倍光学变焦,静态条纹分析系统
_6英寸菲索干涉仪主机,6倍光学变焦,相移条纹分析系统,压电移相器 |
测量系统 |
绝对测量(线性量尺),数显单元,附加SPM-plus小曲率测量附件(可选)或 激光测距系统 |
测量精度 |
+/- 1μ |
设备尺寸 |
800 x 900 x 2400 mm,平板电脑或PC |
重量 |
600 kg |
安装条件 |
110-240 V / 50-60 Hz,压缩空气6bar |
颜色 |
浅灰色 |
- 询价产品:立式球面平面激光干涉仪VT1200
- 询价数量: /个
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