球面镜片测量平面激光干涉仪

产品性能特点：

-适合非球面检测，可测量复杂光学系统，如卡塞格林系统

-高效，灵活，随时轻松搭建复杂测量系统，线性光栅尺定位，气浮承载台，无摩擦移动，测量不同规格样品，只需简单微调

-精密测量曲率半径，1um精度

-曲率半径条件下，测量光圈数N,光圈N可输入CNC抛光机或者磁流变抛光机中使用，取代光学样板，节省制造成本

-面形测量PV,RMS,IRR,POWER

-搭载多个载物台，适合大口径非球面检测

-高精准， 高精密线性导轨，无畸变，无倾角

-高稳定性，立柱+气浮台+干涉仪集成一体，卓越的减震性能

-高性价比XONOX静态条纹分析软件，或高精密的相位条纹分析系统

-XONOX干涉仪软件适合车间使用，自动存储，自动判别，质量趋势统计

-配置高性价比XONOX 4寸（6寸）FIZEAU干涉仪，6x光学变焦，

-也可升级客户已有ZYGO干涉仪

工作范围	最小1200mm行程，（1400mm线性量尺），千分微调器，可容易并精密的找到猫眼和球心位置
干涉仪主机	_4英寸菲索干涉仪主机，6倍光学变焦，静态条纹分析系统 _6英寸菲索干涉仪主机，6倍光学变焦，相移条纹分析系统 _非球面干涉仪测量工作站（不含干涉仪主机），集成客户已有干涉仪，
测量系统	线性量尺，数显单元，附加SPM-plus小曲率测量附件（可选）或激光测距系统
测量精度	+/- 1μ
设备尺寸	2500 x 1200 x 1200 mm，平板电脑或PC
重量	600 kg
安装条件	110-240 V / 50-60 Hz,压缩空气6bar