筛选
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非球面测量用补偿器
零级衍射镜片
-用于测量非球面,圆环面,自由曲面
-CGH安装在超精密熔石英基板上
-容易调整,
-CGH放在干涉仪标准镜前
-DNL-A4/-A6兼容性接口
补偿器为定制品,客户需提供:
被测镜片图纸
干涉仪类型
标准镜口径
标准镜F数
面形精度
有效区域 |
直径<220mm |
调整功能 |
倾斜调整 可选项:焦点光束;or Cat-eye 光束 |
F数 |
最小f数0.9 |
测量精度 |
<PV 1/20 lambda |