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技术选项:
Photosuy 系列技术参数:
型号 |
Photosuy 3020 |
Photosuy 4030 |
Photosuy 5030 |
玻璃台尺寸 |
350*250mm |
450*350mm |
550*350mm |
运动行程(X.Y轴) |
300*200mm |
400*300mm |
500*300mm |
升降行程(Z轴) |
200(Focus) |
200(Focus) |
200(Focus) |
数显分辨率 |
1μm |
1μm |
1μm |
示值误差 |
≤(3.0+L/200)(L为被测长度,单位:mm) |