会员级别返回
-
- 所有会员
-
- VIP会员
-
- 钻石会员
-
- 普通会员
-
- 体验会员
-
- 免费会员
产品型号:HFGS-6341
公司名称:北京中慧天诚科技有限公司
所在地:北京石景山
发布时间:2017-10-12
联系人:张伟
产品简介
产品简介
该产品主要应用在微电子、光电子生产线上和科研、教学等领域Si、Ge、GaAs等半导体基片及电子薄膜应力分布、光学零件面形和平整度面形、 基片曲率半径测量测试。该仪器总测量点数多,能给出场面型分布结果,适合于微电子生产线上产量的快速检验和微电子生产研究。
产品详情
产品简介
该产品主要应用在微电子、光电子生产线上和科研、教学等领域Si、Ge、GaAs等半导体基片及电子薄膜应力分布、光学零件面形和平整度面形、 基片曲率半径测量测试。该仪器总测量点数多,能给出场面型分布结果,适合于微电子生产线上产量的快速检验和微电子生产研究。
仪器基于干涉计量的场测试原理,可实时观测面型的分布,迅速了解被测样品的形貌及应力集中位置,及时淘汰早期失效产品。
产品特点
创的错位相移
计算机自动条纹处理
测试过程自动
的曲面补偿测试原理
指标
样品尺寸:≤100mm (4英寸)
曲率范围:|R|≥5米
测试精度:5%
单片测量时间:3分钟/片
结果类型:面形、曲率半径、应力分布、公式表示、数据表格
图形显示功能:三维立体显示、二维伪彩色显示、单截面曲线显示
电 源:AC 220V±10%, 50Hz±5%
功耗:100W
外型尺寸:(L×W×H) 285mm×680mm×450mm
重 量:36kg
![](http://centrwin.com/Image/272865203.jpg)