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箱式多弧磁控镀膜机 型号:YQDH-900DZX |
货号:ZH5497 |
产品简介 该镀膜机可镀制不锈钢,铬,钨等多种金属,也可镀制合金膜或化合物,也可在工件表面上镀制单层或多层介质膜或金属 ZrN TiCN TiAIN等硬质或装饰涂层,具有镀膜速度快,膜层好的优点。 1 真空室:镀膜室尺寸900×900×1000mm3 ;箱式,前开门结构; 2 抽气系统:机械泵:前泵70L/S;维持泵:2×-8旋片泵;罗茨泵:扩散泵:腔扩泵;分子泵﹝选配﹞ 3 限真空:5×10-4Pa; 恢复真空:5×10-3Pa﹝小于20min﹞; 4 镀膜系统:平面磁控靶或圆柱磁控靶/直流功率源或中频功率源;小弧源/柱弧源; 5 辅助镀膜系统:脉冲偏压电源。条形离子源﹝选配﹞。 6 膜厚测量系统:石英晶体膜厚监控系统﹝选配﹞。 7 进气系统:自动压强控制+多路流量控制系统; 8 操作方式:手动按键式;自动控型配置:研华工控机,80G硬盘,512内存+日本三菱PLC;15英寸液晶显示触摸屏界面; 9 旋转夹具:公转/自转夹具,速度从0~15r/min 无可调; 10 工作烘烤:室温~300 ℃; 11 供电电源:三相380V,50HZ。 |
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