ZH5497型箱式多弧磁控镀膜机

箱式多弧磁控镀膜机
型号：YQDH-900DZX

货号：ZH5497

产品简介
   该镀膜机可镀制不锈钢，铬，钨等多种金属，也可镀制合金膜或化合物，也可在工件表面上镀制单层或多层介质膜或金属 ZrN TiCN TiAIN等硬质或装饰涂层，具有镀膜速度快，膜层好的优点。
1     真空室：镀膜室尺寸900×900×1000mm3 ；箱式，前开门结构；
2     抽气系统：机械泵：前泵70L/S；维持泵：2×-8旋片泵；罗茨泵：扩散泵：腔扩泵；分子泵﹝选配﹞
3     限真空：5×10-4Pa; 恢复真空：5×10-3Pa﹝小于20min﹞;
4     镀膜系统：平面磁控靶或圆柱磁控靶/直流功率源或中频功率源；小弧源/柱弧源；
5     辅助镀膜系统：脉冲偏压电源。条形离子源﹝选配﹞。
6     膜厚测量系统：石英晶体膜厚监控系统﹝选配﹞。
7     进气系统：自动压强控制+多路流量控制系统；
8     操作方式：手动按键式；自动控型配置：研华工控机，80G硬盘，512内存+日本三菱PLC；15英寸液晶显示触摸屏界面；
9     旋转夹具：公转/自转夹具，速度从0～15r/min 无可调；
10    工作烘烤：室温～300 ℃；
11    供电电源：三相380V，50HZ。