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inficonBCG450益处
RoHS 合规
inficonBCG450典型应用
低真空和超高真空范围内系统的一般真空测量和控制
inficonBCG45
类型 | BCG450 | |
---|---|---|
测量范围 | 5×10-10 … 1500 | |
精度 | ||
10-8 … 50 毫巴 | % of reading | ±15 |
50 … 950 毫巴 | % of reading | ±5 |
950 … 1050 毫巴 | % of reading | ±2.5 |
可重复性 | ||
10-8 … 10-2 毫巴 | % of reading | 5 |
热离子发射 | mbar | 2×10-2 (high) |
(可选高/低,通过 RS232 / 现场总线) | mbar | 8×10-3 (low) |
除气 (1) | ||
p < 7.2 × 10-6 | mbar | electron bombardment, max. 3 min |
压力,最大 | bar (absolute) | 5 |
温度 | ||
运行(环境) | °C | 0 … +50 |
贮存 | °C | -20 … +70 |
在法兰处烘烤 | °C | 80 |
移除烘烤电子设备 | °C | 150 |
电源电压 | 20 … 28 | |
输出信号模拟 | ||
输出信号 | V | 0 … 10.3 |
测量范围输出 | V | 0.774 … 10.3 |
电压与压强之间的关系 | volts per decade | 0.75 |
错误信号 | V | 0.3 / 0.5 |
最小负载 | kΩ | 10 |
接口(数字)(2) | RS232C | |
连接器 | D-Sub, 15-pin, male | |
电缆长度,最大 (3) | m (ft.) | 100 (330) |
暴露于真空的材料 | Yt2O3, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI2O3, SnAg, stainless steel, glass | |
内部容积 KF / CF | cm³ (in.³) | 24 (1.46) / 34 (2.1) |
重量 KF / CF | g | 285 / 550 |
保护等级 | IP30 | |
DeviceNet™ | ||
协议 | DeviceNet™, group 2 slave only | |
数据率开关 | kBaud | 125, 250, 500 or network programmable |
电缆长度 125 kbps | m (ft.) | 500 (1650) |
电缆长度 250 kbps | m (ft.) | 250 (825) |
电缆长度 500 kbps | m (ft.) | 100 (330) |
MAC ID | 2 switches (address 00 - 63) or network programmable | |
网络规模 | up to 64 nodes per segment | |
数字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
模拟功能 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
可视通信指示器 | LED network status (green / red) ; LED module status (green / red) | |
技术规格 | DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" | |
设备类型 | ''CG'' for combination gauge | |
I / O 从属传讯 | polling only | |
设定点继电器: 设定点数量 | 2 | |
设定点继电器: 范围 | mbar | 1×10-9 … 1400 |
设定点继电器: 继电器触点 | n.o., potential free | |
设定点继电器: 滞后 | % of reading | 10 |
设定点继电器: 触点额定值 | 60 | |
设定点继电器: 连接器 | D-Sub, 15-pin, male | |
DeviceNet™ 电源电压 | 11 … 25 | |
真空计电源电压 | 20 … 28 | |
DeviceNet™ 连接器 | Microstyle, 5-pin | |
BCG(模拟输出、电源电压、设定点)连接器 | D-Sub, 15-pin, male | |
Profibus DP | ||
波特率 | 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 | |
地址 | 2 switches (address 00 - 127) or network programmable | |
数字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
模拟功能 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
设定点继电器: 设定点数量 | 2 | |
设定点继电器: 范围 | mbar | 1×10-9 … 1400 |
设定点继电器: 继电器触点 | n.o., potential free | |
设定点继电器: 滞后 | % of reading | 10 |
设定点继电器: 触点额定值 | 60 | |
Profibus DP 连接器 | D-Sub, 9-pin, female | |
BCG(模拟输出、电源电压、设定点)连接器 | D-Sub, 15-pin, male | |
以太网 | ||
以太网协议 | protocol specialized for EtherCAT | |
通讯标准 | ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" | |
节点地址 | Explicit Device Identification | |
物理层 | 100BASE-Tx (IEEE 802.3) | |
以太网数字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information | |
过程数据 | Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping | |
邮箱 (CoE) | SDO requests, responses and information | |
以太网连接件 | RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT | |
电缆 | shielded Ethernet CAT5e or higher | |
电缆长度 | m (ft.) | ≤100 (330) |
(1) 除气期间降低精度
(2) 同时使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器,不允许使用现场总线
(3) 适用于 RS232C 运行 <30m