inficonBCG450

inficonBCG450益处

BCG450 可节省成本和工具空间，降低真空测量安装与设置的复杂性
10 托以上的压力测量不受气体类型限制，能够对任何气体混合物提供更为可靠的加载互锁控制
皮拉尼联锁保护热丝，防止过早烧毁
高真空皮拉尼自动调节，减少操作员干预
大气压下的压差测量消除了大气压力变化引起的不确定
易于更换的传感元件与板载校准数据确保再现性
备有可选的图形显示屏和现场总线接口

RoHS 合规

inficonBCG450典型应用

半导体过程、传输腔室和加载互锁真空室的压力测量
工业镀膜

低真空和超高真空范围内系统的一般真空测量和控制

inficonBCG45

规格

类型		BCG450
测量范围		5×10-10 … 1500
精度
10-8 … 50 毫巴	% of reading	±15
50 … 950 毫巴	% of reading	±5
950 … 1050 毫巴	% of reading	±2.5
可重复性
10-8 … 10-2 毫巴	% of reading	5
热离子发射	mbar	2×10-2 (high)
（可选高/低，通过 RS232 / 现场总线）	mbar	8×10-3 (low)
除气 (1)
p < 7.2 × 10-6	mbar	electron bombardment, max. 3 min
压力，最大	bar (absolute)	5
温度
运行（环境）	°C	0 … +50
贮存	°C	-20 … +70
在法兰处烘烤	°C	80
移除烘烤电子设备	°C	150
电源电压		20 … 28
输出信号模拟
输出信号	V	0 … 10.3
测量范围输出	V	0.774 … 10.3
电压与压强之间的关系	volts per decade	0.75
错误信号	V	0.3 / 0.5
最小负载	kΩ	10
接口（数字）(2)		RS232C
连接器		D-Sub, 15-pin, male
电缆长度，最大 (3)	m (ft.)	100 (330)
暴露于真空的材料		Yt2O3, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI2O3, SnAg, stainless steel, glass
内部容积 KF / CF	cm³ (in.³)	24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CF	g	285 / 550
保护等级		IP30
DeviceNet™
协议		DeviceNet™, group 2 slave only
数据率开关	kBaud	125, 250, 500 or network programmable
电缆长度 125 kbps	m (ft.)	500 (1650)
电缆长度 250 kbps	m (ft.)	250 (825)
电缆长度 500 kbps	m (ft.)	100 (330)
MAC ID		2 switches (address 00 - 63) or network programmable
网络规模		up to 64 nodes per segment
数字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模拟功能		0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
可视通信指示器		LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)
技术规格		DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
设备类型		''CG'' for combination gauge
I / O 从属传讯		polling only
设定点继电器：设定点数量		2
设定点继电器：范围	mbar	1×10-9 … 1400
设定点继电器：继电器触点		n.o., potential free
设定点继电器：滞后	% of reading	10
设定点继电器：触点额定值		60
设定点继电器：连接器		D-Sub, 15-pin, male
DeviceNet™ 电源电压		11 … 25
真空计电源电压		20 … 28
DeviceNet™ 连接器		Microstyle, 5-pin
BCG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器		D-Sub, 15-pin, male
Profibus DP
波特率		9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址		2 switches (address 00 - 127) or network programmable
数字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模拟功能		0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
设定点继电器：设定点数量		2
设定点继电器：范围	mbar	1×10-9 … 1400
设定点继电器：继电器触点		n.o., potential free
设定点继电器：滞后	% of reading	10
设定点继电器：触点额定值		60
Profibus DP 连接器		D-Sub, 9-pin, female
BCG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器		D-Sub, 15-pin, male
以太网
以太网协议		protocol specialized for EtherCAT
通讯标准		ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
节点地址		Explicit Device Identification
物理层		100BASE-Tx (IEEE 802.3)
以太网数字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information
过程数据		Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
邮箱 (CoE)		SDO requests, responses and information
以太网连接件		RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
电缆		shielded Ethernet CAT5e or higher
电缆长度	m (ft.)	≤100 (330)

(1) 除气期间降低精度

(2) 同时使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器，不允许使用现场总线

(3) 适用于 RS232C 运行 <30m