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inficonCDG100 电容膜片真空计属于高精准真空测量仪器,专为 苛刻的生产环境而设计。经验证的温度控制、防腐蚀超纯陶瓷传感器可长期提供 卓越的满量程稳定性和最先进的零点稳定性。Edge 采用 INFICON 获得专利的 独特传感器屏蔽,可保护真空计在使用过程中产生不需要的附带结果。 先进的电子设备为所有应用提供各种可配置的信号条件以及可选的 EtherCAT 现场总线接口。 创新的加热概念确保了冰凉的接触表面并节省了宝贵的工具空间。 inficonCDG100 是同类产品中体积最小的真空测量仪器。
(1) 在25℃操作温度下的非线性、滞后和可重复性在操作2小时后不丑温度影响。
(2)提高 10 … 90% FS
。(3) 仅针对压力控制型
。(4) 18% 铬、10% 镍、3% 钼、69% 铁。
(5)环境温度 >40°C 可增大表面温度高于 SEMI S2 的规定值
inficonCDG100益处
inficonCDG100典型应用
inficonCDG100规格
类型
1000 ... 500 Torr / mbar
200 ... 1 Torr / mbar
精度 (1)
% of reading
0.15
0.15
温度效应
零点
percent FS/°C
0.0025
0.0025
满量程
% of reading / °C
0.02
0.02
压力,最大
kPa (absolute)
400
260
分辨率
percent FS
0.003
0.003
最低读数
percent FS
0.01
0.01
建议的最低读数
percent FS
0.05
0.05
建议的最低控制压力
percent FS
0.5
0.5
温度
传感器
°C
100
100
运行(周围环境)(5)
°C
+10 … +50
+10 … +50
在法兰处烘烤
°C
≤110
≤110
贮存
°C
–20 … +65
–40 … +65
电源电压
+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
功耗
加热时
W
≤20
≤20
运行温度
W
≤14
≤14
输出信号(模拟)
V (dc)
0 … +10
0 … +10
反应时间 (2)
ms
30
30
保护等级
IP 40
IP 40
标准
CE 合规
EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 认证
UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
SEMI 合规 (5)
SEMI S2
电气连接
D-sub, 15 pole, male
D-sub, 15 pole, male
设定点
设定点数量
2 (SP1,SP2)
2 (SP1,SP2)
继电器触点
≤30
≤30
滞后
percent FS
1
1
诊断端口
协议
RS232-C
RS232-C
读数
pressure, status, ID
pressure, status, ID
设置
set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
暴露于真空的材料
Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
内部容积
内部容积 1/2'' 管
cm³ (in.³)
4.2 (0.26)
4.2 (0.26)
内部容积 DN 16 ISO KF
cm³ (in.³)
4.2 (0.26)
4.2 (0.26)
内部容积 DN 16 CF-R
cm³ (in.³)
4.2 (0.26)
4.2 (0.26)
内部容积 8 VCR®
cm³ (in.³)
4.2 (0.26)
4.2 (0.26)
重量
重量 1/2'' 管
g
837
837
重量 DN 16 ISO KF
g
852
852
重量 DN 16 CF-R
g
875
875
重量 8 VCR®
g
897
897
EtherCAT
协议 EtherCAT
protocol specialized for EtherCAT
protocol specialized for EtherCAT
通讯标准
ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
数据率
Kbps
100000
100000
节点地址
Explicit Device Identification
Explicit Device Identification
物理层
100BASE-Tx (IEEE 802.3)
100BASE-Tx (IEEE 802.3)
数字功能读取
pressure, status, ID
pressure, status, ID
数字功能设置
set points, filter, zero adjust, reset, DC offset
set points, filter, zero adjust, reset, DC offset
过程数据
Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
邮箱 (CoE)
SDO requests, responses and information
SDO requests, responses and information
EtherCAT 连接器
RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
电缆
shielded Ethernet CAT5e or higher
shielded Ethernet CAT5e or higher
电缆长度
m (ft.)
≤100 (330)
≤100 (330)
CDG(模拟输出、电源电压、设定点)连接器
D-sub, 15 pin, male
D-sub, 15 pin, male
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