CPM INFICON四极质谱分析仪

CPM INFICON四极质谱分析仪

CPM 的特点

■ 用于监测复杂过程的四极气体分析系统.

■ 允许7 天24 小时连续监测,达到最大的产额和产量, 从而将成本降至最低.

■ 足够的小型和性能,可安装在压强很高的真空室内.

■ HexBlock 取样系统的最佳性能.

■ 内置CDG, 用于过程压强监测和真空联锁.

■ 备有可选的校准参考源, 用于调谐和气体参.

■ 封闭的长寿命离子源可在阻挡大多数腐蚀性和反应性气体的同时,检测亚ppm 量级的污染物.

■ 重量轻,易搬运.

CPM INFICON四极质谱分析仪用户优越性

INFICON Transpector CPM 的下列性能可在低成本下实现现场早期报警:

■ 测量气相反应;

■ 验证真空的完整性;

■ 鉴别痕量污染物;

■ 测量过程与本底的组分;

■ 定性气体纯度.

CPM INFICON四极质谱分析仪 良好的适配性

空间是可贵的,我们的CPM占空间小,可灵活安装.为对被分析气体影响最小和在宽压强范围内快速提供结果,我们开发了多功能的HexBlock 注入口. 为确保最高的

性能与可靠性, 我们采用已在12,000 台以上Transpector 2 气体分析系统上得到验证的四极传感器.为适应某些复杂应用,如刻蚀和CVD 中存在腐蚀性极高的气体, 我们采用化学惰性优等的316 不锈钢加工。

全球支持

作为半导体市场RGA 产品的领先者, INFICON 具有发展创新与可靠的,增长产量的监测系统资源,加上全球应用网络,需要时可随时随地提供专家支持与协助.

CPM INFICON四极质谱分析仪技术特点

1）带EM 的NDPP 在10,000 增益和1-秒停留时间下

2 ）质量数40 对41amu 的贡献

3 ）零blast 对2amu 的贡献

4 ）最小可检浓度,氪在空气中在1-秒停留时间下

5 ）低发射下的线性,在0.1 至2 倍常规小孔压强下

6 ）使用总压强规管在低发射下的压强调值

7 ）低发射下的总压强精度

8 ）低发射下离子源最大工作压强（灯丝关断阈值）

9 ）在封闭型离子源中2E-4 乇,在四极场范围中将产生约1E-5 乇

10）最小EM 增益在最大EM 电压下

类型		100 AMU CPM	200 AMU CPM	300 AMU CPM
Resolution		1 amu wide @ 10% peak height	1 amu wide @ 10% peak height	1 amu wide @ 10% peak height
Total Pressure Range¹		5E-7 - 1E-3 Torr	5E-7 - 1E-3 Torr	5E-7 - 1E-3 Torr
Total Pressure Accuracy²		+/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr	+/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr	+/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr
Maximum Ion Source Operating Pressure³		1E-3 Torr	1E-3 Torr	1E-3 Torr
Nominal Operating Pressure⁴		2E-4 Torr	2E-4 Torr	2E-4 Torr
System Operating Pressure		1E-8 Torr - 1.2 atm	1E-8 Torr - 1.2 atm	1E-8 Torr - 1.2 atm
Sensitivity (Low Emission)		> 4E-6 Amps/Torr	> 2E-6 Amps/Torr	> 1E-6 Amps/Torr
Sensitivity (High Emission)		> 2E-5 Amps/Torr	> 1E-5 Amps/Torr	> 5E-6 Amps/Torr
Minimum Detectable Partial Pressure⁵		1E-13 Torr	2E-13 Torr	4E-13 Torr
Maximum Data Rate		1.8 ms/point (555 points/sec)	1.8 ms/point (555 points/sec)	1.8 ms/point (555 points/sec)
Abundance Sensitivity⁶		< 5 ppm	< 10 ppm	< 100 ppm
Zero Blast⁷		< 2 ppm	< 25 ppm	< 200 ppm
Detection Limit⁸		< 1 ppm	< 2 ppm	< 4 ppm
Linearity⁹		+/- 20%	+/- 20%	+/- 20%
Minimum Background Pressure		1E-8 Torr	1E-8 Torr	1E-8 Torr
Maximum Sensor and Inlet Temperature	°C	150	150	150

1 Ion source pressure reading @ low emission using total pressure lens

2 Total pressure accuracy @ low emission

3 Maximum ion source operating pressure @ low emission

4 2x10-4 Torr in the ion source will produce about 1x10-5 Torr in the quadrupole region

5 MDPP at the ion source with EM on and 1s dwell time

6 Mass 40 contribution onto 41 AMU

7 Zero blast contribution onto 2 AMU

8 Minimum detectable concentration with Krypton in air @ a 1s dwell time

9 For 1 Torr orifices or lower. Linearity @ low emission at 0.1 to 2 times the nominal orifice pressure