INFICON XPR3气体分析系统

INFICON XPR3气体分析系统提供的 RGA 过程监控功能可以为您提供有关污染级别、除气级别、气体纯度和设备操作等方面的实时数据。用户可以根据此信息检测和诊断问题，从而最大化吞吐量和产量，也可以根据此信息制定更有效的预防性维护计划，从而延长工具运行时间。

INFICON XPR3气体分析系统是新一代气体分析系统，可用于基于四极杆的高压过程气体分析。它借鉴了之前 INFICON 系统的成功经验，具有前所未有的灵敏度、准确性和灵活性，可以监控气相沉积 (PVD) 过程。Transpector XPR3 取得了一系列技术上的突破，无需大型、复杂的压力转换设备，即可在 20 mTorr 至超高真空范围内操作。

INFICON XPR3气体分析系统功能

经过重新设计的离子源最大限度减少污染积存，可延长使用寿命，提供更纯净的信号。
新 EM 在 PVD 过程压力下工作，可实现更快速、更纯净的数据收集，消除 FC 向 EM 过度的必要，更便于数据分析。
更长的新型四极杆提高了低质量范围下的滤波性能，增强了丰度灵敏度，从而提高了氢气检测灵敏度。

INFICON XPR3气体分析系统典型应用

PVD 过程模块
预清洗模块
非群集 PVD 工具
夹钳式除气模块

INFICON XPR3气体分析系统

Transpector XPR
零件号	明细
600-1109-P1	Cable, Interlock
600-1117-P1	Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC
600-1117-P2	Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC
914-022-G2	Yttria Filament Kit, XPR, XPR2, XPR3
914-220-G1	Spare Angle Valve, Air Operated
914-348-P1	Ceramic Shield, XPR, XPR2
914-407-P1	Spare Valve Heating Jacket
914-410-P1	Spare Angle Valve, Manual
918-401-P1	Pirani Gauge
Transpector XPR2
零件号	明细
600-1109-P1	Cable, Interlock
600-1117-P1	Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC
600-1117-P2	Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC
914-022-G2	Yttria Filament Kit, XPR, XPR2, XPR3
914-220-G1	Spare Angle Valve, Air Operated
914-348-P1	Ceramic Shield, XPR, XPR2
914-407-P1	Spare Valve Heating Jacket
914-410-P1	Spare Angle Valve, Manual
918-401-P1	Pirani Gauge
Transpector XPR3
零件号	明细
600-1109-P1	Cable, Interlock
600-1117-P1	Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC
600-1117-P2	Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC
914-022-G2	Yttria Filament Kit, XPR, XPR2, XPR3
914-220-G1	Spare Angle Valve, Air Operated
914-407-P1	Spare Valve Heating Jacket
914-410-P1	Spare Angle Valve, Manual
914-415-P1	Heating Jacket, 120/230VAC, XPR3
914-416-G1	Weldment Assembly, Interlock, XPR3
918-401-P1	Pirani Gauge