筛选
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- 地区
- 全部
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- 会员级别
- 全部
列于 UL 中,具有 CE 标记,符合 SEMI® S2
数据
入口法兰尺寸 | VF300、ISO320F、VG350 |
前级抽气口尺寸 | KF40 |
抽速 |
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N2 | 3800 至 4300 ls-1 |
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(取决于具体型号) |
H2 | 2500 ls-1 |
压缩比 |
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N2 | >108 |
H2 | 6 x 103 |
极限压力 | 10-7 Pa / 10-9 mbar |
大允许前级压力 | 266 Pa / 2.66 mbar |
大允许气体流量 N2 (仅水冷却) |
2800 sccm |
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4.73 Pam3s-1 |
大允许气体流量 Ar (仅水冷却) |
2150 sccm |
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3.63 Pam3s-1 |
额定速度 | 24000 rpm |
运转到 90% 额定速度的时间 | 12 分钟 |
固定位置 | 任何方向 |
水冷却 |
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流量 | 3 lmin-1 |
温度 | 5 – 25 °C / 41 – 77 °F |
压力 | 0.3 MPa |
的吹扫气体流量 N2 | 50 sccm/8.4 x 10-2 Pam3s-1 |
输入电压 | 200 – 240 ±10 % V 交流 |
大输入功率(不带 TMS) | 1.5 KVA |