EPX500LE Edwards半导体高真空干泵

EPX500LE Edwards半导体高真空干泵概述
新的紧凑型 EPX500LE 高真空干泵的特性是：工作性能，运行成本更低。EPX500 使用了的保护机械装置，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。

模块化 EPX500LE基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列，可提供的性能，与 IPX 相比，包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。

EPX LE 系列的泵具有一个终用户控制器 (EUC)。通过终用户控制器可以实现独立使用的本地控制，并能够连接到结构的网络，以进行远程控制和监视。

EPX500LE Edwards半导体高真空干泵应用
EPX 系列涵盖的应用，从水处理到中度工作负载的制程。
EPX“LE”系列旨在用于泵送惰性气体混合物（如负荷锁定）且通过制程机台接口提供控制的清洁工作应用。

EPX500LE Edwards半导体高真空干泵功能和优势
紧凑的占地面积–作为可用的工具上泵之一，EPX 节省了占地面积。EPX真空泵可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和安装成本，如果需要也可远程安装。
低运行成本-EPX真空泵仅需要1.4 kW的功率和整合空闲模式，从而可大化功率效率。
的保护机械装置–EPX干泵可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力，并可以在进气口压力下连续工作。
清洁机械装置–传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑，这可能成为制程工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承底油脂，并且不存在任何其他的潜在污染源。
–EPX干泵基于经过现场验证的IPX，具有13年的MTBFp(SEMI E10)，大约每5年维修一次，大程度地延长了泵的使用寿命。

可兼容的网络-EPX系列配有终用户控制，可以连接到结构的网络，以进行诊断监视和控制。

EPX500LE Edwards半导体高真空干泵数据

峰值速度	500 m3h-1
	295 ft3min-1
	8338 l min-1
极限真空
	<1 x 10-6 mbar
	<7 x 10-7 Torr
	<1 x 10-4 Pa
预热时间（达到标称性能）	30 分钟
入口法兰	ISO160
法兰	NW25
噪音	<59 dB(A)
冷却水流速	2 lmin-1
冷却水温度	15 – 35°C
电源供给	200/208 V，50/60 Hz，3 相
极限功率	1.4 kW
电机额定功率	3.0 kW
TIM	无
重量	45.2 kg