会员级别返回
-
- 所有会员
-
- VIP会员
-
- 钻石会员
-
- 普通会员
-
- 体验会员
-
- 免费会员
产品型号:GX100N
公司名称:英国爱德华真空泵-Edwards
所在地:上海闵行
发布时间:2017-02-18
联系人:解星星
产品简介
GX100N 爱德华半导体干式真空泵为大修之间零维护树立了新标准。 效率提高的同时降低了运行成本,并在整个压力范围内保持连续的泵送能力。
GX100N 爱德华半导体干式真空泵的峰值速度范围很宽,并可以改变以适合应用条件,包括从清洁到中等负载制程。 模块化设计允许用户对 GX 干泵进行配置以适合各个工厂的要求。 紧凑的占地面积允许使用包括工具上、近程和远程在内的多种安装选项。
产品详情
概述
GX 干式真空泵系列为大修之间零维护树立了新标准。效率提高的同时降低了运行成本,并在整个压力范围内保持连续的泵送能力。
GX 干泵包括以太网连接功能,允许通过网页查看主要数据,另外还包括一套的网络选项,可泵持续运转。
GX 泵的峰值速度范围很宽,并可以改变以适合应用条件,包括从清洁到中等负载的工艺。模块化设计允许用户对 GX 干泵进行配置以适合各个工厂的要求。紧凑的占地面积允许使用包括工具上、近程和远程在内的多种安装选项。
应用
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
氧化物腐蚀
金属腐蚀
植入源
功能和优势
低运行成本
与 iL/iH 干泵相比,设施成本多可降低 50%
无需预防性维护
灵活的安装选项
小巧轻便,便于安装
工具上、近程或远程
可以改进工具吞吐量
可用的快的负载锁定泵之一
全程的泵送性能
在 50 和 60 Hz 下抽速相同
降低了环境噪音
仅 55 dB(A)
峰值速度范围宽
100、300、600 和 800 m3h-1
参数
绩效
|
|
峰值速度
|
105 m3h-1
|
|
62 ft3min-1
|
|
1750 lmin-1
|
极限压力
|
5 x 10-3 mbar
|
|
3.75 x 10-3 Torr
|
|
0.5 Pa
|
700 Torr 排气压力下的极限
|
|
功率
|
1 kW
|
AUC(有源设备控制器)
|
0.05 kW
|
水
|
|
水入口
|
1 slm
|
氮气
|
0 slm
|
安装详细信息
|
|
占地面积(不包括排气装置)
|
0.20 m2
|
重量
|
120 kg
|
进气口连接
|
ISO 63
|
出气口连接
|
NW25
|
极限噪音
|
<55 dB(A)
|
需要恒流阀附件
GX100L 爱德华半导体干式真空泵订购信息:
GX100L 200 - 230V 50/60Hz A54710958
GX100L 380 - 460V 50/60Hz A54710959
GX100N 200 - 230V 50/60Hz A54711958
GX100N 380 - 460V 50/60Hz A54711959
GX600L 200 - 230V 50/60Hz A54730958
GX600L 380 - 460V 50/60Hz A54730959
GX600N 200 - 230V 50/60Hz A54731958
GX600N 380 - 460V 50/60Hz A54731959
GX1000N 200 - 230V 50/60Hz A54781958
GX1000N 380 - 460V 50/60Hz A54781959
GX100TI 200 - 230V 50/60Hz A54746958