12英寸硅片晶圆边缘抛光机 BBS
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价格: 面议
产品型号:BBS E-150/200/300
公司名称:上海瞻驰光电科技有限公司
地:上海松江
发布时间:2024-07-05
上海瞻驰光电科技有限公司
产品简介
1. 设备名称 6英寸和8英寸硅片边缘抛光机 FINE SURFACE E-150/200 Type-II (DRY-IN / WET-OUT, OF/VN 2 Stations Type) 2. 设备用途 本设备是对6/8/12英寸(150/200/300mm)硅片外周边缘用抛光布加压的方式来进行硅片边缘(缺口VN或者参考面OF)超精密抛光的设备。(备注:V-NOTCH缩写为VN即缺口;FLAT缩写为OF即参考面)
产品详情


1. 设备名称

6英寸和8英寸硅片边缘抛光机 FINE SURFACE E-150/200 Type-II

(DRY-IN / WET-OUT, OF/VN 2 Stations Type)

2. 设备用途

本设备是对6/8/12英寸(150/200/300mm)硅片外周边缘用抛光布加压的方式来进行硅片边缘(缺口VN或者参考面OF)超精密抛光的设备。(备注:V-NOTCH缩写为VN即缺口;FLAT缩写为OF即参考面)


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