RTS-9双电测四探针测试仪

RTS-9双电测四探针测试仪产品优点：

Ø 测试程序控制四探针测试仪进行测量并实时采集两次组合模式下的测试数据，把采集到的数据在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。

Ø 用户可对采集到的数据在电脑中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把采集到的数据输出到Excel中，让用户对数据进行各种数据分析

RTS-9双电测四探针测试仪技术参数：

测量范围	电阻率：10^-4～10⁵ Ω.cm(可扩展)；方块电阻：10^-3～10⁶ Ω/□(可扩展)；电导率：10^-5～10⁴ s/cm；电阻：10^-4～10⁵ Ω；
可测晶片厚度	≤3mm
可测晶片直径	140mmX150mm(配S-2A型测试台)； 200mmX200mm(配S-2B型测试台)； 400mmX500mm(配S-2C型测试台)；
恒流源	电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档，各档电流连续可调
数字电压表	量程及表示形式：000.00～199.99mV；分辨力：10μV；输入阻抗：>1000MΩ；精度：±0.1% ；显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示；
四探针探头基本指标	间距：1±0.01mm；针间绝缘电阻：≥1000MΩ；机械游移率：≤0.3%；探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；探针压力：5～16 牛顿(总力)；
四探针探头应用参数	(见探头附带的合格证)
模拟电阻测量相对误差 ( 按JJG508-87进行)	0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字
整机测量最大相对误差	(用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±4%
整机测量标准不确定度	≤4%
计算机通讯接口	并口
标准使用环境	温度：23±2℃；相对湿度：≤65%；无高频干扰；无强光直射；

配置	四探针测试仪主机、S-2A型探针台、FT-201四探针探头、测试软件(含测控模块)	23000/套
配置	四探针测试仪主机、S-2A型探针台、FT-201四探针探头、台式电脑	28000/套
配置	四探针测试仪主机、S-2A型探针台、FT-201四探针探头、IBM笔记本电脑	38000/套
备注	RTS-9双电测四探针测试仪用户可按实际需要选择配置，电脑可按用户要求以市场价配置或自行购置安装测试软件即可

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