█特征

• 等离子装置的经济版
• 操作简单适于日常工作
• 无需高频利用申请

★应用例

     ◆   清洗

• 有机膜的去除（油，蜡等有机膜）
• 电子零件，光学零件和微小部件的清洗、电镀、涂层前处理
• 细菌的消毒等（通过氧自由基进行细胞膜的蚀刻或通过紫外线进行消毒）

     ◆ 表面改质

• 高分子材料表面的官能基付与⇒提高其粘合性，密着性
  通过氧化反应、在表面生成-OH, >C=O, -COOH等官能基（微量的水分及二氧化碳影响）。
同样，氮气等离子时，表面吸取氮原子生成-NH2官能基。
• 提高各种聚合物的粘结性以及提高医科歯科材料的生物相容性等
• 通过处理培养皿可以在其上均匀涂抹培养基等

     ◆ 医疗，食品，农业领域的应用

• 改变过去使用化学药品对农产品或鱼贝类进行杀菌及防霉，通过等离子达到杀菌效果（表面杀菌或病毒的非活性化）
• 通过氧等离子照射促进生长，缩短细胞增殖时间
• 通过利用细胞活跃动作进行的基因治疗或iPS细胞的制作所需的「基因导入」等

 ◆ 蚀刻

• 有机高分子材料的蚀刻
  对于有机高分子氧气成为蚀刻气体，可以进行抗蚀剂的蚀刻
• 促进种子发芽等实验