烘箱 YES HMDS
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价格: 面议
产品型号:YES HMDS
公司名称:北京华测试验仪器有限公司
地:北京顺义
发布时间:2024-08-21
北京华测试验仪器有限公司
产品简介
烘箱适用范围 烘箱主要用户半导体光刻工艺中硅片表面改性;增加光刻胶对硅片的黏附性。
产品详情

YES HMDS 烘箱

产品简介

烘箱主要用户半导体光刻工艺中硅片表面改性;增加光刻胶对硅片的黏附性。


技术参数

基片尺寸:支持2、3、4、6、8英寸基片及破片

温度范围:RT~160℃

温度精度:+/-1℃@100℃

加热时间:30min @RT~160℃

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