在现代科学技术中，薄膜已有广泛的应用。薄膜厚度是薄膜性能参数的重要指标，薄膜厚度是否均匀一致是检测薄膜各项性能的基础。目前，膜厚仪厂家，两类主要的薄膜测量是基于光学和探针的方法。探针法测量厚度及粗糙度是通过监测精细探针划过薄膜表面时的偏移。探针法在测量速度和精度上受限，并且测量厚度时需要在薄膜里作一个“台阶”。探针法通常是测量不透明薄膜（例如金属）的方法。光学法是通过测量光与薄膜如何相互作用来检测薄膜的特性。光学法可以测量薄膜的厚度、粗糙度及光学参量。光学参量是用来描述光如何通过一种物质进行传播和反射的。一旦得知光学参量，就可以同其它重要参量（例如成分及能带）联系起来。两类最常用的光学测量法是反射光谱法及椭圆偏光法。反射光谱法是让光正（垂直）入射到样品表面，膜厚仪批发，测量被薄膜表面反射回来的一定波长范围的光。椭圆偏光法测量的是非垂直入射光的反射光及光的两种不同偏振态。一般而言，反射光谱法比椭圆偏光法更简单和经济，但它只限于测量较不复杂的结构。

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