両面同時クリーニング可能 ブロワーは、小型・省スペースで安価 VUV-Fパネルクリーナは、断面がVacuum/Ultrasonic Pressur/Vacuumと並べられた構造を採用しています。弊社の特許であるUV式に更にVacuumを加えたことにより、更に性能はアップしました。 特長・効果 ドライクリーナで3μmの粉塵を100％除去可能です。 エアーバランスがよいのでヘッドを対向させて両面同時クリーニングが可能です。 非接触式のための基材の表面への損傷はありません。 除塵テスト及びその結果 社内クリーンルーム（クラス100）内でのテスト結果です。 3μmの微粒子を100％除去しています。 （吐出空気圧力14kpa） テスト条件 ●基材： 液晶用ガラス基板（250mm×250mmx1.1t） ●粉塵： 3μmスペーサビーズ（ドライ散布） ●搬送速度： 50mm／sec. ●評価方法： 表面検査装置（GI-4600）