特長・効果

ドライクリーナで1.6μmの粉塵を100％除去可能です。 新開発のクリーナヘッドは、Ultrasonic Pressure / Vacuum / Ultrasonic Pressure と配置された構造により1度捕らえた粉塵を逃しません。 超音波エアーの衝突による乱流が境界層の破壊、粉塵の剥離を助長します。 2方向の風向きを持つため、様々な付着状態の粉塵に大きな効果を発揮します。 ドライ洗浄方式のため、液交換作業や乾燥工程も不要で、設備やランニングコストが安くなります。 超音波がノズル有効長に均一に出力されるため、除塵能力が均一です。 超音波発生装置は长久的に性能劣化がありません。 非接触式のため基材の表面への損傷はありません。

除塵テスト及びその結果
社内クリーンルーム（クラス100）内でのテスト結果です。 1.6μmの微粒子を100％除去しています。（吐出空気圧力（P圧）12kpa）	テスト条件 ●粉塵：1.6μmスペーサビーズ（ドライ散布） ●吐出空気圧力：12kpa ●基材とのギャップ：約1.5mm ●搬送速度：100mm／sec. ●評価方法：表面検査装置（GI-4830）