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特長・効果 |
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除塵テスト及びその結果 | |
社内クリーンルーム(クラス100)内でのテスト結果です。 1.6μmの微粒子を100%除去しています。(吐出空気圧力(P圧)12kpa) |
テスト条件 ●粉塵:1.6μmスペーサビーズ(ドライ散布) ●吐出空気圧力:12kpa ●基材とのギャップ:約1.5mm ●搬送速度:100mm/sec. ●評価方法:表面検査装置(GI-4830) |
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