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日本日立HITACHI，高解析度FEB测量装置，绵阳供应

价格： 面议

产品型号：CS4800

公司名称：西崎科技（成都）有限公司

所在地：四川成都

发布时间：2019-04-01

联系人：谢

联系电话：400-882-8781

西崎科技（成都）有限公司

产品简介

日本日立HITACHI，高解析度FEB测量装置，绵阳供应 日本日立HITACHI，高解析度FEB测量装置，绵阳供应

产品详情

供应日本日立HITACHI高解析度FEB测量装置CS4800（CD-SEM）  的详细介绍

• 考虑了更换现有设备或共同使用情况下的设备占地面积和GUI*1
• 通过尖端设备的研发经验，搭载了高精度测量技术和*新的计量应用。
• 通过光学轴自动化调整，减少了由于操作员熟练度而造成的测量偏差。
• 更高的图像处理技术，实现Recipe自动测量并提高产能。
• 新的晶圆搬送系统兼容4,6,8英寸多尺寸晶圆。

*1

GUI (Graphic User Interface):使用计算机的图形显示器和鼠标等指示设备的软件操作系统。

测量精度	1nm（3σ）（采用日立标准晶圆）
晶圆尺寸	直径 100mm, 150mm, 200mm
自动装片装置	2个
设备尺寸（主体）	1180（宽）× 2500（长）× 1990（高）毫米

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