晶体退火炉 YYJ1800-30
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价格: 面议
产品型号:YYJ1800-30
公司名称:东莞燕园半导体科技有限公司
地:广东东莞
发布时间:2019-12-07
东莞燕园半导体科技有限公司
产品简介
本款晶体退火炉是我公司吸收国外同类产品的基础上,与北京大学东莞光电研究院共同研发出的一款用于晶棒、晶片、新式炉。该炉采用1900型硅钼棒作为发热体和本公司专利氧化锆内衬炉膛。本款晶体退火炉可在1700℃连续使用,最高温度达1800℃。侧开式炉门,易于样品装载,并可加装通气口,可在氧气或惰型气氛下操作壳体结构,炉膛内部温度稳定度达±1℃,最高温度为1800℃。真空系统采用特种设计,具有操作安全、方便、真空度好,极限真空度可达20KPa,密封性好,真空保持时间长。该气氛可充入高压气体,气氛压力极限值0.1MPa,采用独特的密封技术,可长时间保压,案例性能好,操作方便。
产品详情
本系列退火炉是本公司采用国际先进技术,自行研制开发的高性能、高节能的新型电炉,采用节能型的陶瓷纤维材料和双层结构,可将外表温度降到常温并使得内腔温度分布均匀。采用40段智能型程序控制器全过程自动控制温度,综合性能指标较高,处于国内领先水平。
YYJ1700系列退火炉规格型号
型号
工作室尺寸(mm)D×W×H
功率
kw
最高温度
额定温度
加热元件
电压
升温速率
YYJ1700-20
200×150×150
7
1700℃
1600℃
硅钼棒
220V
≤20/min
YYJ1700-30
300×200×200
10
1700℃
1600℃
硅钼棒
380V
≤20/min
YYJ1700-30A
300×250×250
12
1700℃
1600℃
硅钼棒
380V
≤20/min
YYJ1700-40
400×300×300
16
1700℃
1600℃
硅钼棒
380V
≤20/min
YYJ1700-50
500×300×300
18
1700℃
1600℃
硅钼棒
380V
≤20/min
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