主要技术参数

横向，前加载电动铰链前门和自动气动夹紧。手动打开后门。适用于洁净室集成的系统框架/夹层双壁水冷不锈钢腔室、门和泵线
金属屏蔽热区。钨钼屏蔽用机械粗泵泵送10英寸扩散泵。水冷进口挡板氢气准备烧毁系统。

1、额定功率：                       120KW

2、最高温度：                       2000℃

3、长期使用温度：                   1850℃

4、工作区尺寸：                   650×400×400 mm（深宽高）

5、温度控制：                     钨套管钨铼热电偶

6、温度控制区间：                 室温～2000℃

7、真空系统：                     直联泵+分子泵

8、冷态真空度：                    6.67*10^-3pa

9、可通气氛：                     H₂、N₂等多种气氛

10、安全系统：                     超温报警装置

11、电源电压：                        380 V

12、压升率：                         ≤2Pa/h

13、充气压力：                       ≤0.03Mpa

14、升温速率：                       平均10℃/min

15、降温方式：                       自然降温

16、水冷系统：                       表面温度低于55度