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高真空级兼容型开关[GN系列]10 -5 Pa 高真空等级兼容!
这是一款专门用于高真空环境的定位开关,仅由低释气兼容部件制造而成。
主要半导体制造设备制造商正在逐一采用其在真空气相沉积设备和溅射设备中定位晶片和掩模。
(详情请咨询TEL: QQ:1280713150 白先生)
格式名称 | 操作模式 | 代码方向 |
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GN-PT 5 M 3 B | 答:不 | 直 |
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GN-PT 5 M 3 B | B:NC |
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GN-PT 5 M 3 B-R | 答:不 | 直角 |
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GN-PT 5 M 3 B-R | B:NC |
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接触结构 | 联系人类型 |
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操作模式 | 答:不/ B:NC |
操作点的可重复性 | ON ONOFF 0.003毫米(范围) |
相应的真空度/允许烘烤温度 | 10 -5 Pa / 120℃ |
运动到行动 | 约0.3(A:NO)/无(B:NC) |
滞后 | 0 |
接触点精度寿命 | 300万次 |
行程 | 1.5毫米 |
接触力 | 0.5牛 |
接触评级 | DC 5 V至DC 24 V固定电流10 mA或更低(浪涌电流20 mA或更低) |
检测是否存在半导体晶圆
定位玻璃基板
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玻璃基板的对准
面膜托盘座位检测
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