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非接触式双面干洗机兼容小基板到第10代液晶玻璃。可以清洁平板显示器(液晶,有机EL,等离子)阵列的正面和背面上的颗粒,同时内嵌的单元卡住。适用于通过辊子和传送带运输的FPD,OLED,光伏板的双面清洁。
实验装置 | 我们公司洁净室内的运输设备(100级) |
除尘目标 | 液晶用玻璃基板(370×470×0.7mm Cr膜) |
喷雾颗粒 | 用于液晶的隔离物(微球1.6·3·5·10μm),玻璃粉尘 |
头排出压力 | 13千帕 |
基板间隙 | 1.5毫米 |
输送速度 | 100·200·300毫米/秒 |
评估设备 | CCD相机 |
运输类型 | 输送机类型 |
目标基板尺寸 | 大1100 mm×1300 mm |
评估设备1 | 整体玻璃检查装置GI-5400(由Hitachi High-Technologies Corporation制造) |
评估设备2 |
数字显微镜VHX-5000(由Keyence Corporation制造) 放大倍数:500倍至5000倍 |